3月25日,SEMICON CHINA 2026在上海拉开帷幕,全球领先的移动操作机器人方案商优艾智合携三款新品重磅亮相。
在优艾智合展台,三台移动操作机器人正在模拟的半导体工厂环境中协同作业。从取料到运输再到对接放料,一整套完整的物料智能化流转闭环跃然眼前。
这是优艾智合在本次展会上全球首发的三款新一代半导体具身智能移动操作机器人OW12-300、OW8-350、ATS6F。三款产品分别指向12寸晶圆全工艺段、8寸晶圆前道工程、跨洁净度物料转运三大场景,共同构成了覆盖半导体全工艺链的工业物流解决方案。
效率革命:7×24小时不间断作业
在半导体制造这样一个对精度、洁净度、稳定性要求近乎苛刻的行业里,优艾智合此次新品集中亮相,从效率、洁净、连续作业三个维度发起一场“效率革命”。
OW12-300可兼容FOUP、FOSB、Metal CST等12寸晶圆制程的载具,实现工艺全覆盖。OW8-350则应用于半导体前道工艺,可在650mm窄道通行。

OW12-300
现场演示显示,OW12-300和OW8-350均实现了最快25秒以内的空满交换时间,这意味着物料对接节点上,移动操作机器人已经具备了与天车系统同量级的作业节拍,作为OHT的柔性补充,有效打通厂内物流瓶颈。

OW8-350
效率革命的另一面,是连续作业能力。OW12-300搭载无线充电与双电池,OW8-350则配备超大容量电池与双侧无线充电,两者均支持在作业过程中同步补电,实现7×24小时不间断运行,持续创造价值。
行业首创,破解跨洁净区难题
此次发布的三款新品中,ATS6F的亮相尤其值得关注。这款专为长距离、高洁净场景设计的新品,为优艾智合行业首创,机器人配备了舱内洁净系统与自动密封技术,在万级车间内可保障物料百级洁净度,可实现跨洁净度、跨区域的无界转运。在连廊运输场景中,ATS6F省去了无尘环境建设和专用轨道投入,以更低的综合成本实现同样严格的洁净度要求,为半导体工厂的跨区物流提供了全新的高性价比选择。

ATS6F
ATS6F结合物料信息管理系统,保障物料运输全流程中的安全和可追溯,让机器人与生产系统深度融合,形成数据闭环,夯实物质流与信息流的基础,已成为行业进一步升级的关键。
作为全球工业具身智能的先行者与领导者,优艾智合深耕最具增长潜力和场景适应性的移动操作机器人赛道,依托创新的“一脑多态”具身智能机器人解决方案,拓展移动操作机器人应用的深度和广度,并在对产品与技术有着严苛要求的半导体和能源化工领域率先实现规模化应用,建立了领先优势。相关数据显示,以2024年收入计,优艾智合在全球工业移动操作机器人领域排名第一。
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